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    半导体封装行业用到的91香蕉视频下载APP设备有哪些种类?

    返回列表 来源:91香蕉视频免费下载 浏览: 发布日期:2018-11-14 10:36【
    文章导读:半导体封装行业由于其特殊性,比之于常规的电子产品对等离子设备的等离子均匀性、Particle数量、UPH等指标要求更高,一般要求在低压(真空)状态下进行91香蕉视频下载APP。
    半导体封装行业用到的91香蕉视频下载APP设备一般可按如下方式分类:

    1、按91香蕉视频下载APP设备的运行方式:分为独立式91香蕉视频下载APP设备和在线式91香蕉视频下载APP设备
    (1)独立式(又叫离线式、单体式、批量式等)91香蕉视频下载APP设备主要结构包括:真空腔体(包含电极;又叫反应腔、反应仓、反应室等)、设备外壳、电气控制系统、气路系统、等离子发生器(包括电源和匹配器)和真空系统。

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    2)在线式(又叫连续式、不间断式等)91香蕉视频下载APP设备主要结构包括:上下料推送机构、上下料放置平台、上下料提升系统、上下料传输系统、上下料拨料机构、真空腔体、设备主体框架、电气控制系统、气路系统、等离子发生器(包括电源和匹配器)和真空系统。
     

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    在线式91香蕉视频下载APP设备是在独立式的基础上,为满足对表面处理均匀性、一致性品质要求更高,以提高自动化程度,减少人工参与等需要设计而成。

     

    2、按等离子产生的激励方式分为:电容耦合(CCP)、感应耦合(ICP)和电子回旋共振(ECR)等

     

    3、按等离子发生器的工作频率来分:中频(又叫低频、超声40〜100KHz),高频(又叫射频13.56MHz),微波(2.45GHz)

     

    发频率与等离子自偏压的关系
     



     

    激发频率与等离子密度的关系
     

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    不同频率激发的等离子体特性和能量是不一样的,对于侧重物理清洗的产品,用中频91香蕉视频下载APP设备比较合适;侧重化学清洗的产品,采用微波91香蕉视频下载APP设备;化学物理反应兼顾的,建议使用射频91香蕉视频下载APP设备。当然,等离子激发频率只是等离子产生的核心因素之一,91香蕉视频下载APP设备的电极结构、工艺气体、真空度、处理时间等等,同样是影响清洗效果的关键。

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